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恭喜香港科技大学(广州)冯雪蒙获国家专利权

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龙图腾网恭喜香港科技大学(广州)申请的专利半导体键合辅助操作机器人及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119910630B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510397372.0,技术领域涉及:B25J9/04;该发明授权半导体键合辅助操作机器人及设备是由冯雪蒙;姜红玉;曾祥军;徐巍设计研发完成,并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体键合辅助操作机器人及设备在说明书摘要公布了:本申请公开了半导体键合辅助操作机器人及设备,涉及微电子封装技术领域,其中半导体键合辅助操作机器人由机台、控制装置、机械臂、视觉定位装置、载料工具、夹取工具、吸取工具和触屏工具组成。机械臂安装在机台上,视觉定位装置安装在机械臂上。夹取工具、吸取工具和触屏工具与机械臂连接。夹取工具用于夹取上侧样品下侧样品键合后样品。载料工具具有用于放置上侧样品下侧样品的载料工位。载料工位设有让位槽以避让夹指动作。吸取工具用于吸取上侧样品的背面下侧样品的边缘键合后样品的背面。实现键合设备的自动化上料、键合及下料,提高效率、减少错误,同时采用特定夹取和吸取方式保护键合前及键合后的样品,增加操作灵活性。

本发明授权半导体键合辅助操作机器人及设备在权利要求书中公布了:1.半导体键合辅助操作机器人,其特征在于,包括机台(1)、控制装置、机械臂(2)、视觉定位装置(10)、载料工具(7)、夹取工具(4)、吸取工具(5)以及触屏工具(6); 所述机械臂(2)安装于所述机台(1),且其末端安装有第一快换接头(31); 所述视觉定位装置(10)安装于所述机械臂(2); 所述夹取工具(4)、所述吸取工具(5)以及所述触屏工具(6)均安装有与所述第一快换接头(31)可拆卸连接的第二快换接头(32); 所述夹取工具(4)设有相互靠近或远离运动的至少两个夹指(41),用于夹取上侧样品、下侧样品或键合后样品; 所述夹取工具(4)至少两个,且各自的夹取行程不同; 所述载料工具(7)设有至少两个载料工位,其中至少一个所述载料工位用于置放上侧样品,至少一个所述载料工位用于置放下侧样品;或,所述载料工具(7)至少两个,均设有载料工位,至少一个所述载料工具(7)的所述载料工位用于置放上侧样品,至少一个所述载料工具(7)的所述载料工位用于置放下侧样品; 所述载料工位设有避让所述夹指(41)动作的让位槽(72); 所述吸取工具(5)用于吸取上侧样品的背面、下侧样品的边缘或键合后样品的背面; 所述吸取工具(5)至少两个,且至少其中一个所述吸取工具(5)为固定式吸取工具,至少另一个所述吸取工具为可调式吸取工具; 所述控制装置与所述视觉定位装置(10)、所述机械臂(2)、夹取工具(4)以及吸取工具(5)连接; 所述载料工位上设有至少两个限位台阶部(71); 至少两个所述限位台阶部(71)圆周间隔分布,且之间围成样品限位固定区域; 所述让位槽(72)连通所述样品限位固定区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人香港科技大学(广州),其通讯地址为:511453 广东省广州市南沙区笃学路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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