恭喜中电鹏程智能装备有限公司王俊获国家专利权
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龙图腾网恭喜中电鹏程智能装备有限公司申请的专利一种自动晶圆扩膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023242U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421921168.1，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种自动晶圆扩膜设备是由王俊;申文明;郭洪江;严文涛设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动晶圆扩膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种自动晶圆扩膜设备，包括：设备机架1以及设置在设备机架内的8寸晶圆环提篮上下料机构、晶圆环拉料机构、双工位移栽机构、6寸晶圆环上料机构、自动扩膜机构和晶圆环推料机构；8寸晶圆环提篮上下料机构设置于6寸晶圆环上料机构的两侧；自动扩膜机构与6寸晶圆环上料机构设置于同一条直线上，晶圆环拉料机构和晶圆环推料机构分别位于自动扩膜机构的两侧且关于自动扩膜机构对称设置；双工位移栽机构设置于设备机架内且位于晶圆环拉料机构、自动扩膜机构和晶圆环推料机构的上方；本实用新型中的各机构的协调运作使得晶圆的上料、扩膜、切膜和下料全程自动化，实现了高效、稳定、低成本、高质量和高灵活性的生产过程。
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