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龙图腾网获悉江苏中科智芯集成科技有限公司申请的专利一种研磨机手臂及真空吸附控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120134210B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510632380.9，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权一种研磨机手臂及真空吸附控制方法是由熊伟;马飞龙;黄涛;裴雯忻设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种研磨机手臂及真空吸附控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及传输装置技术领域，尤其涉及一种研磨机手臂及真空吸附控制方法，研磨机手臂包括：臂体，包括第一腔体和第二腔体，平板上分布有若干贯通的孔位和导气管；吸嘴，包括管体和凸沿，管体贴合套设于导气管外部，凸沿位于第二腔体内；复位结构，为吸嘴提供弹性力以与平板贴合；侧壁与吸嘴一一对应设置有通孔，贴合状态下，管体的端部相对于侧壁的外表面自通孔延伸至平齐或者高出设定距离，导气管端部相对于管体端部向内缩进。本发明中提供了一种可在背胶膜贴附工艺流程中，替代通过贴膜带环对晶圆进行传输的研磨机手臂，可对研磨完成的晶圆的顶部进行有效吸附以带动晶圆移动，并可通过吸嘴相对于导气管的移动而改变空间大小以完成振动缓冲。

本发明授权一种研磨机手臂及真空吸附控制方法在权利要求书中公布了：1.一种研磨机手臂的真空吸附控制方法，其特征在于，研磨机手臂包括： 臂体，包括层叠设置且通过平板分隔的第一腔体和第二腔体，所述平板上分布有若干贯通的孔位，在所述第二腔体一侧，平板上围绕每个孔位均垂直设置有导气管，以连通所述第一腔体和研磨机手臂外部； 吸嘴，包括管体和在管体一端向四周延伸的凸沿，所述管体贴合套设于所述导气管外部，所述凸沿位于所述第二腔体内； 复位结构，设置于所述凸沿朝向管体的侧面，与所述侧面所朝向的臂体侧壁之间，为所述吸嘴提供弹性力以与所述平板贴合；所述侧壁与所述平板平行设置，且与所述吸嘴一一对应设置有通孔，贴合状态下，所述管体的端部相对于所述侧壁的外表面自所述通孔延伸至平齐或者高出设定距离，所述导气管端部相对于所述管体端部向内缩进； 所述侧壁上还设置有若干贯通的气孔，以连通所述第二腔体与研磨机手臂外部，所述气孔的孔径小于所述导气管的孔径；所述臂体包括层叠且密封连接的三部分，第一部分和第二部分之间形成所述第一腔体，第二部分和第三部分之间形成所述第二腔体； 控制方法包括： 在研磨机手臂自晶圆顶部将所述吸嘴与晶圆贴合后，对所述第一腔体和第二腔体同步抽真空，在两腔体的真空度分别稳定在对应的设定范围内后，移动所述研磨机手臂以对晶圆进行传输； 或者，首先对所述第一腔体抽真空，且在真空度稳定在设定范围内后，移动所述研磨机手臂以对晶圆进行传输，并在传输过程中，根据需要选择性地对所述第二腔体抽真空。

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