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龙图腾网获悉安徽旭腾微电子设备有限公司申请的专利一种全自动真空无氧烤箱获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120149214B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510627865.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种全自动真空无氧烤箱是由刘汉东;袁良照设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种全自动真空无氧烤箱在说明书摘要公布了：本发明提供了一种全自动真空无氧烤箱，属于晶圆加工技术领域，它解决了现有晶圆烤箱上下料、加热烘烤效率低；自动化程度低等技术问题。本全自动真空无氧烤箱，包括烤箱框架组件、EFEM框架组件和两个真空泵组件及四个等距均布的晶圆装载机，烤箱框架组件的内部设有四个腔体组件和四个自动门组件，EFEM框架组件的内部设有机器人移栽组件和机控箱，EFEM框架组件的左侧设有主控机，腔体组件分别与同侧的真空泵组件之间通过抽气管道连接，腔体组件连接外部高纯氮气源。本发明全程通过多传感器协同、机械联动及气液冷却系统，实现晶圆在无氧、高精度温控环境下的全自动的稳定抓取装片、抽真空处理、加热、恒温工艺烘烤处理、双模式冷却和取片处理。

本发明授权一种全自动真空无氧烤箱在权利要求书中公布了：1.一种全自动真空无氧烤箱，包括烤箱框架组件（1）、连接在烤箱框架组件（1）前侧的EFEM框架组件（2）和位于烤箱框架组件（1）左右两侧且对称设置的真空泵组件（5）以及位于EFEM框架组件（2）前侧的四个等距均布的晶圆装载机（3），其特征在于，所述烤箱框架组件（1）的内部设有四个四角分布的腔体组件（7）和四个四角分布的自动门组件（6），等高的两个腔体组件（7）左右对称设置，等高的两个自动门组件（6）左右对称设置，自动门组件（6）与腔体组件（7）的位置相对应，且自动门组件（6）位于腔体组件（7）的前侧，EFEM框架组件（2）的内部设有机器人移栽组件（8）和机控箱（48），EFEM框架组件（2）的左侧设有主控机（4），腔体组件（7）分别与同侧的真空泵组件（5）之间通过抽气管道连接，腔体组件（7）连接外部高纯氮气源；所述烤箱框架组件（1）包括烤箱框架主体（9），烤箱框架主体（9）的内部设有四个四角分布的独立的腔体放置区（10），烤箱框架主体（9）的内部设有两侧左右对称的水冷单元，烤箱框架主体（9）的内部固定有四个鼓风机（11），烤箱框架主体（9）的左右两侧均设有若干上下等距均布的穿板连接管道（12），烤箱框架主体（9）内部底侧设有漏液检测组件。

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