上海感图网络科技有限公司侯晓峰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海感图网络科技有限公司申请的专利图像处理方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119228774B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411389131.3,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权图像处理方法、装置、设备及存储介质是由侯晓峰;朱磊;张弛;吴琪;刘远刚设计研发完成,并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本图像处理方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请涉及一种图像处理方法、装置、设备及存储介质,应用在晶圆缺陷检测领域,包括应用于被采集晶圆背面的任一起始位置,根据获取到的显微镜头的最小的调焦距离及晶圆的允收高度差确定显微镜头的起始焦距序列;获取显微镜头在起始位置采集到的起始图像序列,其中起始图像序列与起始焦距序列相适应;基于预设的图像清晰度评价算法对起始图像序列中的各个图像进行清晰度计算,根据预设序列长度确定图像子序列,并确定清晰度得分最高的图像子序列为起始目标图像子序列;将起始目标图像子序列中的图像进行图像融合处理,得到起始位置的目标清晰图像。本申请具有的技术效果:减少晶圆图像的采集时间和晶圆图像融合处理时间,提高晶圆缺陷检测效率。
本发明授权图像处理方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种图像处理方法,其特征在于:所述方法应用于晶圆背面缺陷的自动光学检测系统,所述晶圆背面缺陷的自动光学检测系统包括显微镜头,所述显微镜头用于采集晶圆背面的图像,所述显微镜头的焦距可调节,所述方法包括: 应用于被采集晶圆背面的任一起始位置,根据获取到的所述显微镜头的最小的调焦距离及晶圆的允收高度差确定所述显微镜头的起始焦距序列; 获取所述显微镜头在所述起始位置采集到的起始图像序列,其中所述起始图像序列与所述起始焦距序列相适应; 基于预设的图像清晰度评价算法对所述起始图像序列中的各个图像进行清晰度计算,根据预设序列长度确定图像子序列,并确定清晰度得分最高的图像子序列为起始目标图像子序列; 将所述起始目标图像子序列中的图像进行图像融合处理,得到所述起始位置的目标清晰图像; 在所述将所述起始目标图像子序列中的图像进行图像融合处理,得到所述起始位置的目标清晰图像之后,还包括: 应用于被采集晶圆背面的任一非起始位置,根据上一位置的目标图像子序列,确定当前位置的目标焦距; 获取所述显微镜头在所述当前位置采集到的第一图像,其中所述第一图像与所述目标焦距相适应; 基于预设的图像清晰度评价算法对所述第一图像进行清晰度计算,判断所述第一图像的清晰度是否在第一预设阈值范围内,并根据判断结果确定所述当前位置的目标清晰图像; 所述根据上一位置的目标图像子序列,确定当前位置的目标焦距包括: 根据预设的图像清晰度评价算法计算所述上一位置的目标图像子序列中各图像的清晰度,并确定清晰度最高的图像对应的焦距; 计算当前位置与上一位置间的高度差,根据所述高度差和上一位置清晰度最高的图像对应的焦距,确定所述当前位置的目标焦距。
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