买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉恩智浦美国有限公司申请的专利基于频率调制的多轴感测装置及其操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112485468B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010842619.2，技术领域涉及：G01P15/097；该发明授权基于频率调制的多轴感测装置及其操作方法是由邵鹏设计研发完成，并于2020-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于频率调制的多轴感测装置及其操作方法在说明书摘要公布了：一种MEMS装置包括第一惯性质量系统和第二惯性质量系统，第一惯性质量系统具有彼此弹性地耦接的第一驱动质量块和第一感测质量块，第二惯性质量系统具有彼此弹性地耦接的第二驱动质量块和第二感测质量块。第一驱动质量块和第二驱动质量块沿平行于衬底的表面的第一轴经历反相驱动运动。第一感测弹簧和第二感测弹簧锚固并悬挂与衬底的表面间隔开的第一感测质量块和第二感测质量块。第一感测弹簧和第二感测弹簧响应于绕垂直于表面的第三轴的角旋转而实现第一感测质量块和第二感测质量块沿平行于表面的第二轴的反相感测运动。第一感测弹簧和第二感测弹簧另外响应于沿第二轴的线性加速度而实现第一感测质量块和第二感测质量块沿第二轴的同相感测运动。

本发明授权基于频率调制的多轴感测装置及其操作方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统多轴感测装置，其特征在于，包括： 衬底，所述衬底具有表面； 第一惯性质量系统，所述第一惯性质量系统包括第一驱动质量块和弹性地耦接到所述第一驱动质量块的第一感测质量块； 第二惯性质量系统，所述第二惯性质量系统包括第二驱动质量块和弹性地耦接到所述第二驱动质量块的第二感测质量块，所述第一驱动质量块和所述第二驱动质量块被配置成沿朝向平行于所述衬底的所述表面的第一轴经历反相驱动运动； 第一感测弹簧，所述第一感测弹簧被配置成锚固并悬挂于与所述衬底的所述表面间隔开的所述第一感测质量块；以及 第二感测弹簧，所述第二感测弹簧被配置成锚固并悬挂于与所述衬底的所述表面间隔开的所述第二感测质量块，所述第一感测弹簧和所述第二感测弹簧响应于绕垂直于所述衬底的所述表面的第三轴的角旋转而实现所述第一感测质量块和所述第二感测质量块沿平行于所述衬底的所述表面且垂直于所述第一轴的第二轴的反相感测运动，并且所述第一感测弹簧和所述第二感测弹簧另外响应于沿所述第二轴的线性加速度而实现所述第一感测质量块和所述第二感测质量块沿所述第二轴的同相感测运动； 第一谐振器梁，所述第一谐振器梁通过所述第一感测弹簧中的一个第一感测弹簧弹性地耦接到所述第一感测质量块，所述第一谐振器梁被配置成响应于所述第一感测质量块沿所述第二轴的移动而经历第一轴向应力； 第二谐振器梁，所述第二谐振器梁通过所述第一感测弹簧中的另一个第一感测弹簧弹性地耦接到所述第一感测质量块，所述第二谐振器梁被配置成响应于所述第一感测质量块沿所述第二轴的所述移动而经历第二轴向应力； 第三谐振器梁，所述第三谐振器梁通过所述第二感测弹簧中的一个第二感测弹簧弹性地耦接到所述第二感测质量块，所述第三谐振器梁被配置成响应于所述第二感测质量块沿所述第二轴的移动而经历第三轴向应力；以及 第四谐振器梁，所述第四谐振器梁通过所述第二感测弹簧中的另一个第二感测弹簧弹性地耦接到所述第二感测质量块，所述第四谐振器梁被配置成响应于所述第二感测质量块沿所述第二轴的所述移动而经历第四轴向应力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩智浦美国有限公司，其通讯地址为：美国德克萨斯州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。