格科微电子(上海)有限公司杨瑞坤获国家专利权
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龙图腾网获悉格科微电子(上海)有限公司申请的专利图像传感器的像素结构及其制备方法、图像传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114914255B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110168101.X,技术领域涉及:H10F39/18;该发明授权图像传感器的像素结构及其制备方法、图像传感器是由杨瑞坤设计研发完成,并于2021-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本图像传感器的像素结构及其制备方法、图像传感器在说明书摘要公布了:本发明提供一种图像传感器的像素结构及其制备方法,包括:半导体衬底、位于半导体衬底内的光电二极管及浮置扩散区;覆盖于光电二极管上表面的钉扎层;其中,钉扎层在靠近浮置扩散区一侧由光电二极管至浮置扩散区方向厚度逐渐减薄。通过将钉扎层在靠近浮置扩散一侧设置为厚度逐渐减薄的结构,使转移晶体管的阈值电压在光电二极管至浮置扩散区方向由高到低分布,增强转移晶体管的开关性能;采用选择性外延工艺形成钉扎层,形成的钉扎层性能稳定。
本发明授权图像传感器的像素结构及其制备方法、图像传感器在权利要求书中公布了:1.一种图像传感器的像素结构,其特征在于,包括: 半导体衬底、位于半导体衬底内的光电二极管及浮置扩散区; 覆盖于光电二极管上表面且至少部分位于所述半导体衬底表面之上的钉扎层; 其中,所述钉扎层在靠近浮置扩散区一侧由光电二极管至浮置扩散区方向厚度逐渐减薄。
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