北京万应科技有限公司黄玲玲获国家专利权
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龙图腾网获悉北京万应科技有限公司申请的专利微透镜母模制造方法及微透镜母模获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112346153B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910729833.4,技术领域涉及:G02B3/00;该发明授权微透镜母模制造方法及微透镜母模是由黄玲玲设计研发完成,并于2019-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本微透镜母模制造方法及微透镜母模在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种微透镜母模制造方法及微透镜母模,包括:在衬底上沉积金属连接层;在金属连接层上涂敷光刻胶;在所述光刻胶上光刻图形,形成光刻图像;蚀刻金属连接层,将相邻光刻图像之间的金属连接层去除;去除光刻胶;将金属球体植在金属连接层上;对金属球体进行高温真空回流处理,形成金属半球,所述金属半球的外径与光刻图像的半径相等;所述金属半球降温固化,得到微透镜母模。利用本发明实施例不仅能够简化制作工艺,还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度和高占空比微透镜母模的制造,大大降低生产成本,同时还可采用高温真空回流技术,使金属半球表面光滑如镜,大大降低金属半球的粗糙度。
本发明授权微透镜母模制造方法及微透镜母模在权利要求书中公布了:1.一种微透镜母模制造方法,其特征在于,包括: 在衬底上沉积金属连接层; 在金属连接层上涂敷光刻胶; 在所述光刻胶上光刻图形,形成光刻图像; 蚀刻金属连接层,将相邻光刻图像之间的金属连接层去除; 去除光刻胶; 将金属球体植在金属连接层上:在衬底上铺设丝网,其中丝网的网孔与光刻图像一一对应; 在丝网上印刷助焊剂,助焊剂穿过网孔印刷在金属连接层上; 撤去丝网; 在金属连接层上铺设钢网,钢网的网口与光刻图像一一对应; 金属球体穿过网口落在助焊剂上,通过助焊剂固定在金属连接层上; 将钢网撤去; 对金属球体进行高温真空回流处理,形成金属半球,所述金属半球的外径与光刻图像的半径相等; 所述金属半球降温固化,得到微透镜母模。
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