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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日：2013-12-30
公开（公告）日：2017-09-22
公开（公告）号：CN104752396B
专利技术分类：...具有可适用互连装置的[2006.01]
专利摘要：一种电熔丝结构，包括：衬底；位于衬底上的介质层；位于介质层内的第一导电图案层、第二导电图案层、及位于第一导电图案层和第二导电图案层之间的导电插塞，其中：第一导电图案层包括：至少一个第一电熔丝单元，第一电熔丝单元包括：两个第一电极、和位于两个第一电极之间的多个第一熔丝，第一熔丝的第一端部、第二端部分别与两个第一电极连接；第二导电图案层包括：第二电极、和与第二电极连接的第二熔丝；导电插塞与第二熔丝、及至少一个第一电熔丝单元的一个第一熔丝接触电连接。解决了现有电熔丝结构熔断前后无法获得恒定的电阻值变化，给电路设计者带来不便，并给电路设计带来一定的局限性的问题。
专利权项：一种电熔丝结构，其特征在于，包括：衬底；位于所述衬底上的介质层；位于所述介质层内的第一导电图案层、第二导电图案层、及位于所述第一导电图案层和第二导电图案层之间的导电插塞，其中：所述第一导电图案层包括：至少一个第一电熔丝单元，所述第一电熔丝单元包括：两个第一电极、和位于两个所述第一电极之间的多个第一熔丝，所述多个第一熔丝的第一端部、第二端部分别与两个所述第一电极连接；所述第二导电图案层包括：第二电极、和与所述第二电极连接的第二熔丝；所述导电插塞与所述第二熔丝、及至少一个所述第一电熔丝单元的一个第一熔丝接触电连接。
百度查询： 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 电熔丝结构
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