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申请/专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日：2011-07-05
公开（公告）日：2014-11-12
公开（公告）号：CN102865325B
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供一种减振装置、减振设备和减振系统。所述减振装置包括：上支撑板；下支撑板，所述下支撑板与所述上支撑板平行；多个金属环，所述多个金属环连接所述上支撑板和下支撑板。所述减振设备包括：减振装置；连接板，所述减振装置固定在所述连接板上；提升气囊，所述提升气囊与所述连接板连接，用以改变所述连接板的高度；锁紧装置，所述锁紧装置与所述连接板活动连接，用以支撑所述连接板。所述减振系统包括：多个减振设备，多个所述减振设备通过固定装置连接。通过本发明提供的减振装置、减振设备和减振系统减少了减振时间，提高了减振效果。
专利权项：一种减振设备，其特征在于，包括：减振装置，包括：上支撑板；下支撑板，所述下支撑板与所述上支撑板平行；多个金属环，所述多个金属环连接所述上支撑板和下支撑板；连接板，所述减振装置固定在所述连接板上；提升气囊，所述提升气囊与所述连接板连接，用以改变所述连接板的高度；锁紧装置，所述锁紧装置与所述连接板活动连接，用以支撑所述连接板。
百度查询： 上海微电子装备有限公司 减振装置、减振设备和减振系统
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