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申请/专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日：2011-09-30
公开（公告）日：2012-01-11
公开（公告）号：CN102312222A
专利技术分类：..向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法[2006.01]
专利摘要：一种输气装置，至少包括：输气管道，用于运输反应气体；加热装置，用于对所述输气管道中的气体进行加热。本发明通过对运输过程中的反应气体进行加热，升高反应气体的温度，从而有效地避免了反应气体在运输过程中产生冷凝，并且结构简单，实施方便，成本低廉，易于有效地利用现有的机台设备，从而节省了生产成本，提高了生产效率。
专利权项：一种输气装置，其特征在于，至少包括：输气管道，用于运输反应气体；加热装置，用于对所述输气管道中的气体进行加热。
百度查询： 上海宏力半导体制造有限公司 输气装置
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皖公网安备 34010402703815号