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申请/专利权人：中科钢研节能科技有限公司;上海大革智能科技有限公司
申请日：2017-09-06
公开（公告）日：2018-07-27
公开（公告）号：CN207659560U
专利技术分类：..碳化物[2006.01]
专利摘要：本实用新型涉及碳化硅长晶领域，公开了一种坩埚盖和坩埚，所述坩埚盖的上表面形成有凹槽1，所述凹槽1内可拆卸地设置有一个或多个温度调节片2，所述温度调节片2上形成有贯穿上下表面的通孔3。本实用新型中，仅仅通过调节坩埚盖的凹槽中的温度调节片的数量，达到灵活调节热场的温度梯度，大大节约了生长碳化硅的成本。
专利权项：1.一种坩埚盖，其特征在于，所述坩埚盖的上表面形成有凹槽1，所述凹槽1内可拆卸地设置有一个或多个温度调节片2，所述温度调节片2上形成有贯穿上下表面的通孔3。
百度查询： 中科钢研节能科技有限公司 上海大革智能科技有限公司 坩埚盖和坩埚
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