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申请/专利权人:成都太科光电技术有限责任公司
申请日:2003-05-30
公开(公告)日:2004-06-30
公开(公告)号:CN2622670Y
专利技术分类:.干涉仪[2022.01]
专利摘要:本实用新型提供了一种球面干涉仪,包括干涉仪主体、导轨和安装在导轨上的支架,在所述干涉仪主体上还连接了半导体激光器,在所述支架上相对于半导体激光器的位置安装了平面反射镜。调节平面反射镜,使半导体激光器入射到其上的光束,被反射回半导体激光器上,这样可以确保在测量时,被测球面相对于光轴的角度是一致的,避免了导轨的不直度引起的局部角度误差在五维支架上被放大,使被测球面相对光轴在测量时有偏移,导致测量结果与实际结果有较大偏差,即阿贝误差。
专利权项:1、球面干涉仪,包括干涉仪主体4、导轨6和安装在导轨6上的支架10,其特征在于:在所述干涉仪主体4上还连接了半导体激光器7,在所述支架10上相对于半导体激光器7的位置安装了平面反射镜9。
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