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申请/专利权人：清华大学
申请日：2018-10-24
公开（公告）日：2019-01-25
公开（公告）号：CN109270298A
专利技术分类：..用变换成电或磁量[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种MEMS加速度计，包括基底、两个支撑体、第一敏感结构、第二敏感结构以及用于连接第二敏感结构和第一敏感结构的承重梁。两个支撑体固定于基底表面，且相对间隔设置。承重梁架设于两个支撑体之间，且与两个支撑体分别固定连接。两个支撑体所在直线与承重梁垂直。本发明减少了锚点数量，避免多个锚点之间的热应力对第一敏感结构和第二敏感结构产生影响。基底产生的热应力通过两个支撑体传递到承重梁时，热应力在承重梁上的趋势表现在两个支撑体的所在直线上，与第一敏感结构与第二敏感结构的测量方向垂直，因此可以避免对测量结果产生影响。
专利权项：1.一种MEMS加速度计，其特征在于，包括：基底100；两个支撑体200，固定于所述基底100表面，且相对间隔设置；第一敏感结构300、第二敏感结构400以及用于连接所述第二敏感结构400和所述第一敏感结构300的承重梁500，所述承重梁500架设于所述两个支撑体200之间，且与所述两个支撑体200分别固定连接，所述两个支撑体200所在直线与所述承重梁500垂直。
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