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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
申请日：2018-07-03
公开（公告）日：2019-02-05
公开（公告）号：CN109309973A
专利技术分类：..使用带状、棒状、或线状发热体的[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种加热装置及加热方法，所述加热装置能够抑制装置的大型化，并且在基板的表面形成高温的气体流，将不需要的气体从基板的表面附近除去。本发明的加热装置具有多个棒状加热器20及包覆棒状加热器20的多个外管30。从供气部供给的气体在外管30的内部经棒状加热器20加热。而且，从外管30的喷出口32向基板9喷出加热后的气体。借此，在基板9的表面形成高温的气体流，将不需要的气体从基板9的表面附近除去。另外，基板9的加热与气体的加热是由共同的棒状加热器20进行。借此抑制装置的大型化。
专利权项：1.一种加热装置，对多个基板进行加热，且所述加热装置的特征在于，包括：加热炉，能够在上下方向上多段地收纳所述多个基板；多个棒状加热器，在所述加热炉的内部沿着所述基板的表面而配置；多个外管，包覆所述多个棒状加热器各者；供气部，对所述多个外管各自的内部供给气体；以及排气部，排出所述加热炉内的气体，并且所述多个外管分别具有喷出口，所述喷出口向所述基板喷出从所述供气部供给的气体。
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