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申请/专利权人：富士通株式会社
申请日：2005-02-22
公开（公告）日：2007-12-26
公开（公告）号：CN100357786C
专利技术分类：.控制光的方向（光导中的入G02B6/35）[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种镜面、镜面单元和光开关。这种具有可变角度的反射表面的MEMS镜面设有反射率低于中心部分反射率的部分。该部分设置在MEMS镜面的预定侧的至少部分端部中。结果，在MEMS镜面的角度变化时，可以减小端表面所反射的光的衍射影响。
专利权项：1.一种光开关，包括：在散射方向上散射光束的光谱单元；和具有反射表面的MEMS镜面，该MEMS镜面包括：中心部分，和设置在所述MEMS镜面的预定端的端部，其中所述端部的反射率低于所述中心部分的反射率，并且所述预定端是所述MEMS镜面中在所述散射方向上的一端。
百度查询： 富士通株式会社 镜面、镜面单元和光开关
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