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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
申请日：2016-10-05
公开（公告）日：2018-10-23
公开（公告）号：CN108700526A
专利技术分类：...用等离子体喷嘴或吹管[2006.01]
专利摘要：在能够检测在冷却水的循环流路10上的位于比高频电源3的冷却部靠上游侧的位置的金属制的第一阀13结露所得到的水的位置配置水检测传感器21。另外，在利用冷却风扇从装置外吸入的空气遇到的位置配置第一阀13。通过第一阀13的冷却水的温度比供给到高频电源3的冷却部的冷却水的温度低，湿度高的外部气体遇到第一阀13，因而在满足结露条件的情况下，与高频电源电路基板相比而言先在第一阀13发生结露。水检测传感器21检测到该情况，控制部20将高频电源3的动作停止。由此，即使在用于对高频电源的电路基板进行冷却的冷却水的温度过度低的情况下，也能够提前防止该基板发生结露从而避免故障等。
专利权项：1.一种ICP分析装置，在该ICP分析装置中，由高频电源向在等离子体炬的周围卷绕的感应线圈供给高频电流来在该等离子体炬中形成感应耦合等离子体火焰，该ICP分析装置的特征在于，具备：a电源冷却部，其利用制冷剂对所述高频电源中的电路基板进行冷却；b制冷剂供给部，其将制冷剂冷却并且将该制冷剂向到达所述电源冷却部的制冷剂流路中供给；c水检测部，其配置于在作为所述制冷剂流路的一部分的、位于比所述电源冷却部靠上游侧的位置的容易发生结露的检测对象部位处因结露而产生的水滴下或流下的位置；以及d控制部，其接收由所述水检测部产生的检测到水的结果后，使所述高频电源的动作停止。
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