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申请/专利权人：住友精化株式会社
申请日：2010-06-11
公开（公告）日：2014-06-18
公开（公告）号：CN101962179B
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供氩精制方法、氩精制装置、目标气体精制方法和目标气体精制装置。该氩精制方法和装置适于利用TSA法以高产出率得到高纯度氩，并且适于实现TSA循环时间的缩短化。在氩精制方法中，将含有Ar的气体输入到贮存槽10，从贮存槽10向包含填充有吸附剂的吸附管的TSA吸附塔51A、51B侧供给气体。并且，在各个TSA吸附塔中反复进行包含吸附、加热脱除和冷却的工序的循环。在吸附工序中，在吸附管内的吸附剂处于较低的吸附用温度的状态下，将气体导入吸附管，使气体中的杂质吸附于吸附剂，并将Ar富化气体从吸附管中导出。在加热脱除工序中，利用液体状载热体使吸附管内的吸附剂升温，从吸附剂中脱除杂质，将精制气体导入吸附管并从吸附管中导出排出气。排出气被导入贮存槽10。在冷却工序中，利用液体状冷媒使吸附管内的吸附剂降温。
专利权项：一种氩精制方法，其特征在于：将含有氩的混合气体输入到贮存槽，从所述贮存槽向包含空间部和填充有吸附剂的吸附管的TSA吸附塔供给所述混合气体，在所述TSA吸附塔中反复进行包含如下工序的循环：吸附工序，其在所述吸附管内的所述吸附剂处于相对低温的吸附用温度的状态下，将所述混合气体导入该吸附管，使该混合气体中的杂质吸附于所述吸附剂，并将氩富化后的精制气体从该吸附管中导出；加热脱除工序，其使所述吸附管内的所述吸附剂升至相对高温的温度，并从该吸附剂中脱除所述杂质；和冷却工序，其使所述吸附管内的所述吸附剂降温，在所述加热脱除工序中，将液体状载热体导入所述TSA吸附塔的所述空间部，对所述吸附管内的所述吸附剂进行加热，并且，将所述精制气体导入所述吸附管，从该吸附管中导出排出气，并将该排出气导入所述贮存槽，在所述冷却工序中，将液体状冷媒导入所述TSA吸附塔的所述空间部，对所述吸附管内的所述吸附剂进行冷却。
百度查询： 住友精化株式会社 氩精制方法、氩精制装置、目标气体精制方法和目标气体精制装置
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