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申请/专利权人：株式会社东芝
申请日：2011-09-07
公开（公告）日：2012-04-18
公开（公告）号：CN102417109A
专利技术分类：..用于半导体晶片的[2006.01]
专利摘要：本实施方式的一个方式的搬运机构，在相互使开口部侧对置配置的处理室和搬运箱之间，一边维持气密状态一边交接工件，其中，具备：处理室盖部，使上述处理室的开口部开闭自由且气密地覆盖上述处理室的开口部，并且在上述搬运箱侧具有凹部；引导机构，向上述处理室的内部侧引导该处理室盖部；工件支撑部，设置于上述处理室内；搬运箱盖部，使上述搬运箱的开口部开闭自由且气密地覆盖上述搬运箱的开口部，并且气密地嵌入上述凹部；以及结合部，上述处理室的开口部周围的前面部与上述搬运箱的开口部周围的前面部气密地结合而成。
专利权项：一种搬运机构，在使开口部侧相互对置配置的处理室和搬运箱之间，一边维持气密状态一边交接工件，其中，具备：处理室盖部，使上述处理室的开口部开闭自由且气密地覆盖上述处理室的开口部，并且在上述搬运箱侧具有凹部；引导机构，向上述处理室的内部侧引导该处理室盖部；工件支撑部，设置于上述处理室内；搬运箱盖部，使上述搬运箱的开口部开闭自由且气密地覆盖上述搬运箱的开口部，并且气密地嵌入上述凹部；以及结合部，上述处理室的开口部周围的前面部与上述搬运箱的开口部周围的前面部气密地结合而成。
百度查询： 株式会社东芝 搬运机构、搬运夹具以及搬运台车
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