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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
申请日：2010-04-28
公开（公告）日：2010-12-29
公开（公告）号：CN101930163A
专利技术分类：
专利摘要：本发明涉及薄膜，课题是在薄膜框架上设有气压调整用的贯通孔，并且在该贯通孔上安装有过滤部件的薄膜中，提高其通气性，使过滤部件的安装变得容易，抑制从过滤部件产生灰尘，而且在薄膜处理时防止过滤部件的接触、破损。贯通孔包括：1向薄膜外部开口并容纳过滤部件的凹形状的外侧阶梯部；2向上述外侧阶梯部的底面开口的凹形状的内侧阶梯部；以及3一端向上述内侧阶梯部的底面开口且另一端向薄膜内部开口的通气孔。
专利权项：一种薄膜，在薄膜框架上设有用于将薄膜内部的气压调整为与薄膜外部的气压相同的贯通孔，并且在该贯通孔上安装有具备防止异物的进入的过滤器的过滤部件，其特征在于，上述贯通孔包括：1向薄膜外部开口并容纳过滤部件的凹形状的外侧阶梯部；2向上述外侧阶梯部的底面开口的凹形状的内侧阶梯部；以及3一端向上述内侧阶梯部的底面开口且另一端向薄膜内部开口的通气孔。
百度查询： 信越化学工业株式会社 薄膜
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