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申请/专利权人：株式会社东芝
申请日：2006-03-31
公开（公告）日：2006-10-04
公开（公告）号：CN1840248A
专利技术分类：..具有化学作用或溶解作用的液体（使用的物质，参见有关的类）[2006.01]
专利摘要：本发明揭示一种洗涤方法及洗涤装置，洗涤装置具备：提供碱性的洗涤用液体的洗涤用水供给部50、提供高压空气的高压空气供给部40、以及使所提供的洗涤用水与高压空气混合以使其形成雾状，向半导体晶片W喷射的双流体喷嘴30。
专利权项：1.一种洗涤方法，其特征在于，提供碱性洗涤用水，提供高压气体，将所提供的所述洗涤用水与所述气体进行混合使其形成雾状，向被洗物体喷射。
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皖公网安备 34010402703815号