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申请/专利权人：第一太阳能有限公司
申请日：2011-06-28
公开（公告）日：2013-03-06
公开（公告）号：CN102959120A
专利技术分类：..氧化物（C23C14/10优先）[2006.01]
专利摘要：一种结构包括阻挡层和透明导电氧化物层，阻挡层可以包括氧化硅铝，透明导电氧化物层可以包括镉和锡的层。
专利权项：一种溅射靶，包括：溅射材料，包括锡和大约60wt.％至大约75wt.％的镉；以及不锈钢管，其中，溅射材料连接到不锈钢管以形成溅射靶。
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