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申请/专利权人：埃里希·塔尔纳
申请日：2012-06-12
公开（公告）日：2016-12-28
公开（公告）号：CN104662652B
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种用于通过将平面衬底2，2′的接触侧2o与载体衬底5，5′的支撑面5o对准、接触和接合来制造衬底‑产品衬底‑组合的方法，其中，所述衬底2，2′在接触时具有比所述载体衬底5，5′的平均直径d2更大的平均直径d1。此外，本发明还涉及一种用于通过将平面衬底2，2′的接触侧2o与载体衬底5，5′的支撑面5o对准、接触和接合来制造衬底‑产品衬底‑组合的衬底2，2′，其中，所述衬底2，2′具有直径d1，该直径在背面减薄时可通过所述衬底2，2′的横截面的形状在其周缘轮廓2u上减小。另外，本发明还涉及一种相对应的设备和一种用于将具有平均直径d1的平面衬底2用于与具有平均直径d2的载体衬底5进行对准和接触以便对所述平面衬底2进行再加工的用法，其中，平均直径d1大于平均直径d2。
专利权项：一种用于通过将作为产品衬底的平面衬底（2，2'）的接触面（2o）与用作所述平面衬底（2，2'）的加固件的载体衬底（5，5'）的支撑面（5o）对准、接触和接合来制造支撑衬底‑产品衬底‑组合的方法，其中，所述平面衬底（2，2'）在接触时具有比所述载体衬底（5，5'）的平均直径d2更大的平均直径d1，其中，所述平面衬底（2，2'）在接触后被背面减薄，并且直径d1通过所述平面衬底（2，2'）的横截面的形状在其周缘轮廓（2u）上减小至d1≤d2，其特征在于，所述载体衬底（5，5'）的边缘半径小于0.5mm，而所述平面衬底（2，2'）的边缘半径大于1mm。
百度查询： 埃里希·塔尔纳 衬底‑产品衬底‑组合以及用于制造衬底‑产品衬底‑组合的设备和方法
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