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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司

申请日：2015-05-29

公开（公告）日：2018-11-06

公开（公告）号：CN105206491B

专利技术分类：..带有扫描射束的[2006.01]

专利摘要：一种粒子束系统，包括粒子源；具有下游形成粒子束的多个开口353的第一多孔板351；具有由粒子束穿透的多个开口361的第二多孔板359；具有由还穿透第一和第二多孔板的开口的全部粒子穿透的开口365的孔板363；具有由粒子束穿透的多个开口357并且具有针对束分别提供偶极场或四极场的多个场发生器372的第三多孔板355；以及将电势馈送至多孔板和孔板的控制器369，从而第二多孔板中的第二开口分别作为透镜作用在粒子束3上并将可调节激励馈送至场发生器。

专利权项：1.粒子束系统，包括：粒子源，配置为产生带电粒子的束；第一多孔板，具有多个第一开口，并布置在所述粒子的束路径中，使得所述束的粒子部分撞击所述第一多孔板并且部分穿透所述第一多孔板的所述第一开口，从而截面由所述第一开口的截面限定的粒子束形成在每个第一开口下游的束路径中；第二多孔板，具有多个第二开口，并且布置在所述粒子的束路径中，从而所述粒子束的粒子穿透所述第一多孔板中的所述第一开口中的一个和所述第二多孔板中的所述第二开口中的一个；孔板，布置在离所述第二多孔板一距离处，并且具有由全部所述粒子穿透的开口，全部所述粒子也穿透所述第一多孔板和所述第二多孔板中的所述第一开口和第二开口；第三多孔板，具有多个第三开口，并且布置在所述粒子的束路径中，从而穿透所述第一多孔板中的所述第一开口中的一个和所述第二多孔板中的所述第二开口中的一个的所述粒子束的粒子还穿透所述第三多孔板中的所述第三开口中的一个，所述第三多孔板支撑多个场发生器，所述场发生器中的一个分配给所述第三开口中的每一个，所述场发生器中的每一个配置为提供作用在穿透相应的第三开口的粒子上的四极场；以及控制器，配置为将第一电势馈送到所述孔板并将第二电势馈送至所述第二多孔板，选择所述第一电势和所述第二电势，使得所述第二多孔板中的所述第二开口分别地作为透镜作用于所述粒子束的分别穿透所述第二开口的粒子上，其中所述控制器还配置为将可调节激励馈送到分配给所述第三多孔板的所述第三开口的所述场发生器，使得所述四极场的强度和所述四极场的方向在围绕所述开口的周向上可调节。

百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 粒子束系统