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申请/专利权人：安徽奥飞声学科技有限公司
摘要：本申请公开了一种制造MEMS结构的方法，包括：在衬底的正面的外围部分形成波浪形凸起和或凹进；在所述衬底的正面的中间部分形成压电复合振动层，并且露出所述波浪形凸起和或凹进；在露出的所述波浪形凸起和或凹进上方共形地形成连接件，所述连接件连接所述衬底和所述压电复合振动层；蚀刻所述衬底的背面以形成空腔，所述压电复合振动层形成在所述空腔正上方。该MEMS结构通过连接件实现了衬底和压电复合振动层的弹性接合，获得了较低的谐振频率,其频率范围是100‑10000Hz。并且该制造方法工艺相对简单，易于实现，提高了产品的生产效率。
主权项：1.一种制造MEMS结构的方法，其特征在于，包括：在衬底的正面的外围部分形成波浪形凸起和或凹进；在所述衬底的正面的中间部分形成压电复合振动层，并且露出所述波浪形凸起和或凹进；在露出的所述波浪形凸起和或凹进上方共形地形成连接件，所述连接件连接所述衬底和所述压电复合振动层；蚀刻所述衬底的背面以形成空腔，所述压电复合振动层形成在所述空腔正上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽奥飞声学科技有限公司 一种MEMS结构的制造方法
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