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申请/专利权人：创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：一种漩涡式探针、探针测试装置、探针卡系统及多晶片模块的失效分析方法。漩涡式探针包括一针体、一连接部与一漩涡弹簧。针体的一端具有一针尖。漩涡弹簧连接针体与连接部。漩涡弹簧包含一圈以上的旋绕体，这些旋绕体彼此共平面，且这些旋绕体的轴心与针体的长轴方向正交。故，通过上述架构，漩涡式探针不致于导电接点上横向滑移，降低滑出导电接点的范围的机会，以维持探针与导电接点之间的电接品质及测试性能，以及缩小测试变数。
主权项：1.一种漩涡式探针，其特征在于，包括：一针体，该针体的一端具有一针尖；一连接部；以及一漩涡弹簧，连接该针体与该连接部，该漩涡弹簧包含一圈以上的旋绕体，该些旋绕体彼此共平面，且该些旋绕体的轴心与该针体的长轴方向正交。
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百度查询： 创意电子股份有限公司 台湾积体电路制造股份有限公司 漩涡式探针、探针测试装置、探针卡系统及多晶片模块的失效分析方法
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