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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种静电卡盘，其包括：导热层，用于承载晶片，在导热层中内置有用于加热晶片的加热电极；第一绝热层，设置在导热层的下方，且与导热层连为一体，并且第一绝热层的导热系数小于导热层的导热系数；以及第二绝热层，设置在第一绝热层的下方，且第二绝热层的导热系数小于第一绝热层的导热系数。本发明提供的静电卡盘，其可以提升所能达到的最高温度，并保证在高温段静电卡盘的真空密封，以及实现与下电极结构的匹配安装。
主权项：1.一种静电卡盘，其特征在于，包括：导热层，用于承载晶片，在所述导热层中内置有用于加热晶片的加热电极；第一绝热层，设置在所述导热层的下方，且与所述导热层连为一体，并且所述第一绝热层的导热系数小于所述导热层的导热系数；以及第二绝热层，设置在所述第一绝热层的下方，且所述第二绝热层的导热系数小于所述第一绝热层的导热系数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 静电卡盘
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