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申请/专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日：2019-11-06
公开（公告）日：2020-03-27
公开（公告）号：CN110931417A
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种吸附系统及吸附方法，所述吸附系统包括包括硬质基板及吸附装置；所述硬质基板包括板体；以及磁性层，贴附于所述板体一侧的表面；所述吸附装置包括吸附台板，其内设有电磁铁，与所述磁性层相对设置。所述吸附方法包括磁性层制备步骤、电磁铁设置步骤、硬质基板放置步骤以及通电步骤。本发明的技术效果在于，解决基板翘曲导致设备吸附困难，造成无法进行后续制程的问题，提高基板制备的良率。
专利权项：1.一种吸附系统，其特征在于，包括硬质基板及吸附装置；所述硬质基板包括板体；以及磁性层，贴附于所述板体一侧的表面；所述吸附装置包括吸附台板，其内设有电磁铁，与所述磁性层相对设置。
百度查询： 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 吸附系统及吸附方法
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皖公网安备 34010402703815号