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申请/专利权人：上海先普气体技术有限公司
申请日：2019-10-25
公开（公告）日：2020-07-28
公开（公告）号：CN211122759U
专利技术分类：
专利摘要：本实用新型公开了分析盘面，属于半导体技术领域。它包括进气管、调压阀、手动隔膜阀、流量计、气体水分测定仪本体，所述气体水分测定仪本体包括进气口和出气口，所述进气管的一端与进气口相连通，所述调压阀与进气管相连通。本实用新型首先打开调压阀，使被检测气体从气体纯化器内，依次经过进气管、进气口进入气体水分测定仪本体中，由第二支管上的压力表显示压力值，同时增加旁路，设置手动隔膜阀，流量计限流，当水分测定仪本体检测气体水份较高时，调节流量计，增大吹扫流量，加快管道吹扫速度，从而降低检测时间。
专利权项：1.分析盘面，其特征在于：包括进气管、调压阀、手动隔膜阀、流量计、气体水分测定仪本体，所述气体水分测定仪本体包括进气口和出气口，所述进气管的一端与进气口相连通，所述调压阀与进气管相连通，所述进气管还连通有第一支管，且第一支管位于调压阀和气体水分测定仪本体之间，所述手动隔膜阀和流量计依次与第一支管相连通，所述手动隔膜阀位于流量计和进气管之间，所述第一支管上还连通有第二支管，所述第二支管位于手动隔膜阀和进气管之间，所述第二支管的一端连通有压力表。
百度查询： 上海先普气体技术有限公司 分析盘面
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