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申请/专利权人：因诺伊克斯压铸技术创新设备有限责任公司
摘要：本发明涉及一种用于对测量物体3予以THz‑测量的方法，带有如下步骤：预测量的阶段，在该阶段中，THz‑测量仪2的THz‑收发器的在第一频率范围内且带有第一带宽的第一THz‑发射射束112射出到测量物体3上，并且探测由测量物体3的边界面反射的THz‑辐射；判定是否检测到测量物体3；如果检测到测量物体3，则测定THz‑测量仪2或THz‑收发器相距边界面St5的当前距离；把所测定的当前距离与边界距离相比较；在未超出边界距离时，随后引入主测量或者指示对主测量的引入；主测量的阶段，在该阶段中，主测量‑THz‑发射射束沿着光学轴线射入到测量物体上，并且探测被反射的THz‑辐射，其中，主测量‑THz‑发射射束的第二带宽优选大于第一带宽，其中，由发出的主测量‑THz‑发射射束和所探测到的被反射的THz‑辐射来测定测量特性、例如层厚或材料组分；输出测量结果。
主权项：1.用于对测量物体3予以THz-测量的方法，具有至少如下步骤：-预测量I的阶段St3；-判定是否检测到所述测量物体3St4；-如果检测到所述测量物体3，则测定THz-测量仪2或THz-收发器8相距边界面3a的当前距离dSt5；-把所测定的所述当前距离d与边界距离d_tres相比较St6；-在未超出所述边界距离d_tres时St8，随后引入主测量II或者指示所述主测量II的引入；-主测量II的阶段，在该阶段中，带有主测量-带宽b2的主测量-THz-发射射束212沿着光学轴线A射入到所述测量物体3上，并且探测被反射的THz-辐射14St9，其中，利用发出的所述主测量-THz-发射射束212和探测到的所述被反射的THz-辐射14对所述测量物体3的几何特性或材料特性进行测量St10；-输出测量结果St11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 因诺伊克斯压铸技术创新设备有限责任公司 用于利用电磁辐射来对测量物体予以测量的方法和THz-测量仪
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