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申请/专利权人:亚席斯自动化系统有限公司
申请日:2020-08-03
公开(公告)日:2021-02-02
公开(公告)号:CN112298881A
专利技术分类:..机械的[2006.01]
专利摘要:本发明涉及用于衬底装配设备1的衬底仓储部5,衬底仓储部具有框架7,多个用于容纳至少一个平面式的衬底13的抽屉格10上下叠置地布置在该框架中,其中,每个抽屉格10通过两个平行且彼此间隔开地布置在框架7的相同高度上的导轨11形成,导轨分别具有滑移面12,衬底13在边缘侧可移动地放置在滑移面12上。此外,为每个抽屉格10配备至少一个可弹性移位的锁定元件14,锁定元件在未被加载的第一状态下至少部分地在抽屉格10的其中一个轨道11的滑移面12上延伸,并在弹性变形的第二状态下释放该滑移面12。
专利权项:1.一种用于衬底装配设备1的衬底仓储部5,所述衬底仓储部5具有框架7,多个用于容纳至少一个平面式的衬底13的抽屉格10上下叠置地布置在所述框架7中,其中,每个抽屉格10通过两个彼此平行且间隔开地布置在所述框架7的相同高度上的导轨11形成,所述导轨11分别具有滑移面12,衬底13在边缘侧能移动地放置在所述滑移面12上,其特征在于,每个抽屉格10配备有至少一个能弹性移位的锁定元件14,所述锁定元件在未被加载的第一状态下至少部分地在所述抽屉格10的其中一个轨道11的滑移面12上延伸,并在弹性变形的第二状态下释放所述滑移面12。
百度查询: 亚席斯自动化系统有限公司 衬底仓储部、衬底仓储系统和衬底装配设备
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