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申请/专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日：2019-01-02
公开（公告）日：2021-04-23
公开（公告）号：CN109727973B
专利技术分类：.包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种阵列基板的制备方法、阵列基板，属于显示技术领域。本发明的阵列基板的制备方法包括：在基底上形成多层导电层；其中，形成每层所述导电层的步骤包括：通过构图工艺形成包括导电图案和防静电图案的图形，所述导电图案与所述防静电图案电连接；不同层中的所述防静电图案电连接。
专利权项：1.一种阵列基板的制备方法，其特征在于，包括：在基底上形成多层导电层；其中，形成每层所述导电层的步骤包括：通过构图工艺形成包括导电图案和防静电图案的图形，所述导电图案与所述防静电图案电连接；不同层中的所述防静电图案电连接；所述多层导电层包括第一导电层、第二导电层和第三导电层；所述在基底上形成多层导电层的步骤包括：在基底上形成所述第一导电层；所述第一导电层包括第一导电图案和与所述第一导电图案电连接的第一防静电图案；在形成有所述第一导电层的所述基底上形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层对应所述第一防静电图案的第一区域形成第一过孔；在形成有所述第一绝缘层的所述基底上分别形成第二导电层和第三导电层；所述第二导电层包括第二导电图案和与所述第二导电图案电连接的第二防静电图案；所述第三导电层包括第三导电图案和与所述第三导电图案电连接的第三防静电图案；其中，所述第二防静电图案与所述第三防静电图案电连接，所述第三防静电图案通过所述第一过孔与所述第一防静电图案电连接；所述第三导电图案通过第一连接电极与所述第二防静电图案电连接；所述第一连接电极与所述第二导电图案、所述第二防静电图案通过一次构图工艺形成。
百度查询： 合肥鑫晟光电科技有限公司 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板的制备方法、阵列基板
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