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申请/专利权人：馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日：2020-02-10
公开（公告）日：2021-05-25
公开（公告）号：CN112838159A
专利技术分类：
专利摘要：一种极化设备。此极化设备包含导电载台、介电质屏蔽放电电浆源、电网、介电质屏蔽放电电源供应器、以及直流电源供应器。导电载台具有承载面配置以承载工件，其中工件包含压电材料薄膜，且导电载台接地。介电质屏蔽放电电浆源设于承载面的上方，且配置以朝压电材料薄膜施加电浆。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，其中第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。直流电源供应器包含第三极与第四极，其中第三极电性连接电网，第四极接地。介电质屏蔽放电电浆源可产生二维均匀电浆，因此可避免极化盲区与放电不均匀的问题，而可提升极化的均匀度。
专利权项：1.一种极化设备，其特征在于，该极化设备包含：一导电载台，具有一承载面配置以承载一工件，其中该工件包含一压电材料薄膜，且该导电载台接地；一介电质屏蔽放电电浆源，设于该承载面的上方，且配置以朝该压电材料薄膜施加电浆；一电网，设于该承载面与该介电质屏蔽放电电浆源之间；一介电质屏蔽放电电源供应器，包含一第一极与一第二极，其中该第一极电性连接该介电质屏蔽放电电浆源，该第二极接地；以及一直流电源供应器，包含一第三极与一第四极，其中该第三极电性连接该电网，该第四极接地。
百度查询： 馗鼎奈米科技股份有限公司 极化设备
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