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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
申请日：2019-02-18
公开（公告）日：2021-06-29
公开（公告）号：CN110180744B
专利技术分类：.对工件的相对面涂布液体或其他流体[2006.01]
专利摘要：本发明涉及涂覆装置及涂覆方法。本发明的课题为，在与形成于长条带状基材的第1主面上的第1涂覆膜相对应地在基材的第2主面上形成第2涂覆膜的涂覆技术中，以高精度使第2涂覆膜的涂覆宽度与第1涂覆膜的涂覆宽度一致。本发明的涂覆装置具备：位置获取部，其在长度方向上于第2主面侧涂布部的上游侧获取基材的第1主面上的第1涂覆膜的位置；变化信息获取部，其获取与长度方向垂直的宽度方向上的第2涂覆膜的宽度尺寸相对于第2主面侧湿膜的宽度尺寸的变化量作为第2主面侧变化信息；和供给调节部，其基于第1涂覆膜的位置及第2主面侧变化信息而对来自第2主面侧喷嘴的涂覆液的供给进行调节。
专利权项：1.涂覆装置，其特征在于，其为与形成于沿长度方向延伸的长条片状基材的第1主面上的第1涂覆膜相对应地、在所述基材的第2主面上形成第2涂覆膜的涂覆装置，所述涂覆装置具备：输送部，其沿所述长度方向对所述基材进行输送；第2主面侧涂布部，其具有第2主面侧喷嘴，所述第2主面侧喷嘴向由所述输送部输送的所述基材的所述第2主面供给涂覆液从而形成第2主面侧湿膜；第2主面侧干燥部，其使由所述输送部从所述第2主面侧涂布部输送而来的所述基材的所述第2主面上所形成的所述第2主面侧湿膜干燥，从而形成所述第2涂覆膜；位置获取部，其在所述长度方向上于所述第2主面侧涂布部的上游侧获取所述基材的所述第1主面上的所述第1涂覆膜的位置；变化信息获取部，其获取与所述长度方向垂直的宽度方向上的所述第2涂覆膜的宽度尺寸相对于所述第2主面侧湿膜的宽度尺寸的变化量作为第2主面侧变化信息；和供给调节部，其基于所述第1涂覆膜的位置及所述第2主面侧变化信息而对来自所述第2主面侧喷嘴的所述涂覆液的供给进行调节。
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