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申请/专利权人：江苏新智达新能源设备有限公司

申请日：2020-12-30

公开（公告）日：2021-10-08

公开（公告）号：CN112735982B9

专利技术分类：.专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置[2006.01]

专利摘要：本发明提供了一种晶圆蓝膜取晶固晶装置，包括输送轨，所述输送轨上输送有待固晶的料片；安装台，放置有待固晶的晶圆蓝膜；取晶吸嘴，所述取晶吸嘴通过位置调节机构设置在固定的机架上，所述位置调节机构可驱动所述取晶吸嘴在所述安装台和输送轨之间移动，通过设置可在安装台和输送轨之间移动的取料吸嘴，取晶吸嘴能够将所述晶圆蓝膜上的晶圆取出并安装到所述料片，同时通过顶杆来将蓝膜上的晶圆顶推到取晶吸嘴上的方式，提高了取晶效率，降低了单个晶圆的取晶固晶周期，提高了取晶固晶效率。

专利权项：1.一种晶圆蓝膜取晶固晶装置，其特征在于：包括 输送轨（1），所述输送轨（1）上输送有待固晶的料片； 安装台（2），放置有待固晶的晶圆蓝膜； 取晶吸嘴（3），所述取晶吸嘴（3）通过位置调节机构设置在固定的机架（4）上，所述位置调节机构可驱动所述取晶吸嘴（3）在所述安装台（2）和输送轨（1）之间移动，所述取晶吸嘴（3）能够将所述晶圆蓝膜上的晶圆取出并安装到所述料片上； 所述位置调节机构包括第一导轨（5）、第二导轨（6）和第三导轨（7），所述第一导轨（5）和第二导轨（6）均固定安装在所述机架（4）上，并沿水平方向并列平行设置，所述第三导轨（7）沿水平方向设置，并垂直于所述第一导轨（5），所述第三导轨（7）上设置有第三直线电机（10），所述第三直线电机（10）能够沿所述第三导轨（7）移动，所述取晶吸嘴（3）安装在所述第三直线电机（10）上； 所述安装台（2）包括支撑环（12）和沿水平方向设置在所述机架（4）上的安装板（13），所述安装板（13）中开设有安装孔，所述支撑环（12）转动安装在所述安装孔中，所述支撑环（12）的转动轴心沿竖直方向设置，所述支撑环（12）中设有用于放置晶圆蓝膜的扩晶环（14）； 所述安装台（2）还包括顶杆（15）、第一电机（16）和支架（17），所述第一电机（16）固定安装在所述支架（17）上，所述第一电机（16）的输出轴沿水平方向设置，所述第一电机（16）的输出轴上安装有偏心轮（18），所述顶杆（15）沿竖直方向活动安装在所述支架（17）上，并位于所述扩晶环（14）的下方，所述偏心轮（18）转动能够驱动所述顶杆（15）上下移动；所述支架（17）通过水平调节机构设置在所述机架（4）上，所述水平调节机构可驱动所述支架（17）在水平方向调节位置； 所述支撑环（12）的上方设有半分环（41），所述半分环（41）的数量为二个，二个所述半分环（41）通过竖直调节机构安装在所述支撑环（12）上，所述竖直调节机构可驱动二个所述半分环（41）沿竖直方向移动，并将所述晶圆蓝膜的中部张紧在所述扩晶环（14）上； 所述竖直调节机构包括活动环（42）和连接轴（43），所述活动环（42）套设在所述扩晶环（14）的外周，二个所述半分环（41）对称安装在所述活动环（42）上，所述活动环（42）上设有沿竖直方向设置的第一螺纹孔（421），所述连接轴（43）沿竖直方向设置，所述连接轴（43）的底部转动安装在所述支撑环（12）上，所述连接轴（43）的顶部设置有与所述第一螺纹孔（421）相配合的第一外螺纹（431），所述第一外螺纹（431）安装在所述第一螺纹孔（421）中，所述连接轴（43）转动能够驱动所述活动环（42）上下移动，所述连接轴（43）和第一螺纹孔（421）的数量为均多个，多个所述连接轴（43）和第一螺纹孔（421）均沿周向设置； 所述竖直调节机构还包括第五电机（44）、连接架（45）和第一气缸（46），所述第一气缸（46）的缸体固定安装在所述机架（4）上，所述第一气缸（46）的活塞杆沿水平方向设置，并与所述连接架（45）固定连接，所述连接架（45）上设置有导杆（47），所述导杆（47）平行于所述第一气缸（46）的活塞杆设置，所述机架（4）上设有与所述导杆（47）相配合的导套，所述导杆（47）插入所述导套中，并能沿所述导套滑动，所述第五电机（44）固定安装在所述连接架（45）上，所述第五电机（44）的输出轴上安装有第一斜齿轮（48），所述支撑环（12）上转动安装有支撑轴（49），所述支撑轴（49）沿竖直方向设置，所述支撑轴（49）上固定安装有第二斜齿轮（50），所述第二斜齿轮（50）与所述第一斜齿轮（48）啮合设置，所述支撑轴（49）和多个所述连接轴（43）上均固定安装有转轮（51），多个转轮（51）通过闭环传动带连接同步转动。

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