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申请/专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日：2018-05-11
公开（公告）日：2021-10-15
公开（公告）号：CN108645793B
专利技术分类：.便于进行光学测试的装置或仪器[2006.01]
专利摘要：本申请公开一种样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法。所述样品分析组件包括：载台，设有用于放置样品的承载区；检测机构，设于承载区的上方，用于获取样品的膜内异物的位置；扎针机构，设置于载台上，所述扎针机构包括针，所述针用于扎出样品的膜内异物。基于此，本申请能够有利于对膜内异物进行成分分析。
专利权项：1.一种样品分析方法，其特征在于，所述样品分析方法包括：提供一样品分析组件，所述样品分析组件包括载台、检测机构及扎针机构，所述载台上设有承载区，所述检测机构设于所述承载区的上方，所述扎针机构设于所述载台上且包括朝向所述承载区延伸的针；将样品放置于所述载台的承载区；所述检测机构获取所述样品的膜内异物的位置；将所述针移动至所述膜内异物的位置，并扎出所述膜内异物，以使得所述膜内异物暴露于所述样品；其中，所述膜内异物为LTPS基板上的走线中的膜内异物，或OLED器件中红色色阻或绿色色阻或蓝色色阻中的膜内异物；FTIR对所述膜内异物进行成分分析；所述载台上设有位于所述承载区外围的导轨，所述扎针机构设于所述导轨上，所述将所述针移动至所述膜内异物的位置的步骤，包括：沿所述导轨移动所述扎针机构直至所述针位于所述膜内异物上方；所述扎针机构还包括与所述针连接的调节旋钮，所述扎出所述膜内异物的步骤，包括：所述调节旋钮调节所述针的俯仰角度以使针扎入所述样品。
百度查询： 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法
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