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申请/专利权人：栗田工业株式会社
申请日：2020-02-18
公开（公告）日：2021-10-26
公开（公告）号：CN113557078A
专利技术分类：
专利摘要：稀药液制造装置1具有从药液储槽供给药液S的柱塞泵以及药液供给管3。药液供给管3的末端为药液S的注入点11。该药液供给管3经由穿孔接头13插入到作为第一配管的超纯水流路12的径向的大致中央。而且，在比作为注入点11的穿孔接头13更靠下游侧设有作为电导率测量机构的电导率计14，其与前述控制机构图中未示出连接，根据电导率计14的测定值，能够控制柱塞泵4。只要是这种稀药液制造装置，能够以简单的结构稳定地制造极低酸、碱等浓度的稀药液。
专利权项：1.一种稀药液制造装置，其是通过向第一液体中添加第二液体从而制造该第二液体的稀药液的稀药液制造装置，其中，具有：流通所述第一液体的第一配管；储存所述第二液体的原液罐；将所述原液罐与所述第一配管连接的第二配管；通过所述第二配管将所述第二液体添加到所述第一配管内的泵；设置于比所述第一配管与所述第二配管的连接部位在所述第一液体的流动方向更靠下游侧的电导率测量机构；以及根据所述电导率测量机构的测量值来控制所述泵的控制机构。
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