龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社斯库林集团
申请日：2020-01-16
公开（公告）日：2021-10-29
公开（公告）号：CN113574635A
专利技术分类：....用波或粒子辐射轰击的[2006.01]
专利摘要：对半导体晶片以预加热温度进行预加热之后，自闪光灯照射闪光。由上部辐射温度计测定通过闪光照射而升温的半导体晶片的表面温度。在由上部辐射温度计测定的半导体晶片的表面温度到达目标温度时，停止对闪光灯的电流供给而使半导体晶片的表面温度降温。由于在半导体晶片的表面的实测温度到达目标温度时停止对闪光灯的电流供给，故无论半导体晶片的表面状态或反射率如何，均可使半导体晶片的表面温度准确地升温至目标温度。
专利权项：1.一种热处理方法，其特征在于，通过对基板照射闪光而加热该基板者，具备：闪光照射步骤，自闪光灯对基板的表面照射闪光而使该表面升温；温度测定步骤，由辐射温度计测定升温的上述基板的上述表面的温度；及发光停止步骤，在由上述辐射温度计测定的上述表面的温度到达目标温度时，停止对上述闪光灯的电流供给而使上述表面的温度降温。
百度查询： 株式会社斯库林集团 热处理方法及热处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号