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申请/专利权人：上海铂世光半导体科技有限公司
申请日：2021-02-03
公开（公告）日：2021-12-21
公开（公告）号：CN215251167U
专利技术分类：...采用微波放电[2006.01]
专利摘要：一种MPCVD装置，包括：支撑柱，支撑柱顶部设有工作机构，工作机构内部设有加热机构，加热机构顶部设有散热机构，散热机构顶部设有基片，工作机构内部设有第一腔体和第二腔体，散热机构包括第二电动推杆，第二电动推杆固定连接在第一腔体内部，第二电动推杆输出端固定连接有活动轴，活动轴内部固定连接有散热管，散热管远离活动轴一端固定连接有散热片，本实用新型具有以下优点：通过移动散热机构，使得加热机构的加热器与基片，紧密贴合，从而使得加热更加快，更加均匀，防止散热机构影响加热效果，导致加热不均匀，使得金刚石品质受到影响，移动加热机构，使得散热机构的散热片于基片紧贴合，使得散热更加快，增加散热的效率。
专利权项：1.一种MPCVD装置，其特征在于，包括：支撑柱1，所述支撑柱1顶部设有工作机构2，所述工作机构2内部设有加热机构4，所述加热机构4顶部设有散热机构5，所述散热机构5顶部设有基片6，所述工作机构2内部设有第一腔体22和第二腔体23，所述散热机构5包括第二电动推杆51，所述第二电动推杆51固定连接在第一腔体22内部，所述第二电动推杆51输出端固定连接有活动轴52，所述活动轴52内部固定连接有散热管53，所述散热管53远离活动轴52一端固定连接有散热片54，所述散热片54顶部固定连接有散热板55。
百度查询： 上海铂世光半导体科技有限公司 一种MPCVD装置
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