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申请/专利权人：安徽富乐德科技发展股份有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体PVD设备Clampring抛光打磨机，包括夹紧块，支撑板、气缸和旋转机构，所述的气缸设置在旋转机构上，气缸顶端设有支撑板，所述支撑板为圆形，其工作面等距设有凹槽，凹槽将支撑板的圆形工作面分隔成三个相等的扇形，凹槽内设有夹紧长条，该装置可以有效的夹紧部件，保证了打磨的过程中部件始终处于旋转台的正中心，而且不会被打磨的摩擦力带飞，这样既保证了整体打磨的均匀性、提高打磨质量和部件的安全性。
主权项：1.一种半导体PVD设备Clampring抛光打磨机，其特征是：包括夹紧块（1），支撑板（2）、气缸（3）和旋转机构（4），所述的气缸（3）设置在旋转机构（4）上，气缸（3）顶端设有支撑板（2），所述支撑板（2）为圆形，其工作面等距设有凹槽，凹槽将支撑板（2）的圆形工作面分隔成三个相等的扇形，凹槽内设有夹紧长条（5）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽富乐德科技发展股份有限公司 一种半导体PVD设备Clamp ring抛光打磨机
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