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申请/专利权人:卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日:2018-09-26
公开(公告)日:2022-05-17
公开(公告)号:CN109557654B
专利技术分类:.浸润油[2006.01]
专利摘要:本发明涉及浸没基体5,其被构造用于调整光学装置的分界面处的光学性能,所述浸没基体在浸没基体5的材料6中具有多孔结构,所述多孔结构具有孔7和或纳米孔8,所述孔7具有选自大于20nm至200μm的范围的至少一个孔径,其中,纳米孔8具有选自0.5nm至20nm范围的至少一个平均孔径,所述多孔结构具有选自0.1‑100MPa范围内的弹性模量E。本发明还涉及浸没基体5的应用、具有浸没基体5的装置以及浸没设备。
专利权项:1.一种具有浸没基体5的装置,其构造用于调整所述装置的分界面处的光学性能,其中,所述浸没基体5在浸没基体5的材料6中具有多孔结构,所述多孔结构具有孔7和或纳米孔8,所述孔7具有选自大于20nm至200μm范围的至少一个平均孔径,其中,纳米孔8具有选自0.5nm至20nm范围的至少一个平均孔径;并且用浸没液体9填充的浸没基体5具有选自0.1-800MPa的范围的弹性模量E;其中,浸没基体5具有第一侧面5.1和与第一侧面5.1对置的第二侧面5.2并且被布置在光学元件的分界面之间,方式为浸没基体5以其侧面5.1、5.2之一与样本支架2直接接触并且以对置的侧面5.1、5.2与物镜3直接接触。
百度查询: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 浸没基体、浸没基体的应用和浸没设备
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