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申请/专利权人：浙江工业大学
摘要：本发明公开了一种原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法，具体实施方式如下：先对基体进行清洗，然后进行退火预处理，将处理后的基体再进行清洗并晾干备用；将钛源、氟源、酸和异丙醇均匀混合并充分搅拌，配置成反应前驱液备用；将基体与反应前驱液移至不锈钢高压反应釜中，在电热鼓风干燥箱中进行水热反应，反应结束后冷却取出基体，用去离子水进行超声清洗，获得表面有二氧化钛薄膜的基体。通过本发明制备得到的薄膜在基体上原位生长形貌均匀、致密且薄。
主权项：1.原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：1）先对基体进行清洗，然后进行退火预处理，将处理后的基体再进行清洗并晾干备用；2）将钛源、氟源、酸和异丙醇均匀混合并充分搅拌，配置成反应前驱液备用；3）将基体与反应前驱液移至不锈钢高压反应釜中，在电热鼓风干燥箱中进行水热反应，反应结束后冷却取出基体，用去离子水进行超声清洗，获得表面有二氧化钛薄膜的基体；步骤1）中的基体为钛、钛合金中的至少一种；步骤2）中反应前驱液中的钛源为氟钛酸铵、氟钛酸、三氯化钛、四氟化钛、硫酸亚钛中的至少一种；步骤2）中反应前驱液中的氟源为氟钛酸铵、氟钛酸、氟化钠、四氟化钛中的至少一种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江工业大学 原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法
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