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申请/专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日：2022-05-05
公开（公告）日：2022-09-09
公开（公告）号：CN115036253A
专利技术分类：..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）[2006.01]
专利摘要：本申请公开了一种吸附装置及吸附方法，所述吸附装置包括：吸附平台，用于吸附柔性膜；升降组件，相对于所述吸附平台进行移动，以带动所述柔性膜朝向所述吸附平台运动；压力提供组件，相对于所述吸附平台设置，并向所述柔性膜施加朝向所述吸附平台的压力，以使得所述柔性膜在运动吸附过程中张紧，平坦地被所述吸附平台吸附。通过上述方式，本申请能够降低柔性膜发生褶皱的概率。
专利权项：1.一种吸附装置，其特征在于，包括：吸附平台，用于吸附柔性膜；升降组件，相对于所述吸附平台进行移动，以带动所述柔性膜朝向所述吸附平台运动；压力提供组件，相对于所述吸附平台设置，并向所述柔性膜施加朝向所述吸附平台的压力，以使得所述柔性膜在运动吸附过程中张紧，平坦地被所述吸附平台吸附。
百度查询： 武汉新芯集成电路制造有限公司 吸附装置及吸附方法
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