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申请/专利权人：深圳市深视智能科技有限公司
申请日：2022-07-27
公开（公告）日：2022-09-20
公开（公告）号：CN115077401A
专利技术分类：..用于计量厚度[2006.01]
专利摘要：本申请提供了一种测厚探头、测厚装置及测厚方法。测厚探头包括：准直镜，用于将发散的第一高斯光束转换为准直的第二高斯光束；以及光束转换组件，与准直镜间隔设置，用于将第二高斯光束转换为第一贝塞尔光束，输出的第一贝塞尔光束出射至透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面，光束转换组件还用于分别接收透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面反射的两束第一光束，并转换合成准直的第二光束，第二光束经由准直镜转换为会聚的第三光束，第三光束用于计算透明或半透明待测平板或薄膜的厚度。本申请提供的测厚探头通过光束转换输出第一贝塞尔光束进行测厚提高了测量量程，且在量程范围内保持了横向采样分辨率的一致。
专利权项：1.一种测厚探头，其特征在于，所述测厚探头包括：准直镜，所述准直镜用于将发散的第一高斯光束转换为准直的第二高斯光束；以及光束转换组件，所述光束转换组件与所述准直镜间隔设置，用于将所述第二高斯光束转换为第一贝塞尔光束，其中，所述第一贝塞尔光束具有无衍射区段，所述光束转换组件包括第一凸锥透镜，所述第一凸锥透镜用于输出所述第一贝塞尔光束，输出的所述第一贝塞尔光束出射至透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面，所述光束转换组件还用于分别接收被所述透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面沿原光路反射或后向散射所述第一贝塞尔光束而得到的两束第一光束，并转换合成准直的第二光束，所述第二光束经由所述准直镜转换为会聚的第三光束，所述第三光束用于计算所述透明或半透明待测平板或薄膜的厚度。
百度查询： 深圳市深视智能科技有限公司 测厚探头、测厚装置及测厚方法
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