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申请/专利权人：旭化成微电子株式会社
申请日：2022-06-28
公开（公告）日：2023-01-13
公开（公告）号：CN115597650A
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供一种校准装置、校准方法以及校准程序。提供一种校准装置，具备：获取部，其针对移动体的每个实际位置获取移动体的检测位置；计算部，其针对所述移动体的每个实际位置的检测位置，计算用于检测狭缝位置的狭缝位置信号同与所述移动体的实际位置相应的理想的狭缝编号之间的误差；判定部，其判定是否以预先决定的大小的第一狭缝为单位的狭缝编号至少一部分不同的2个以上的实际位置与同一检测位置对应；以及生成部，其响应于所述2个以上的实际位置与同一检测位置对应，在该检测位置处，针对狭缝位置信号生成用于对2个以上的实际位置的各位置处的误差之间的大小进行校正的校正值。
专利权项：1.一种校准装置，具备：获取部，其针对移动体的每个实际位置获取所述移动体的检测位置；计算部，其针对所述移动体的每个实际位置的检测位置，计算用于检测狭缝位置的狭缝位置信号同与所述移动体的实际位置相应的理想的狭缝编号之间的误差；判定部，其判定是否以预先决定的大小的第一狭缝为单位的狭缝编号至少一部分不同的2个以上的实际位置与同一检测位置对应；以及生成部，其响应于所述2个以上的实际位置与同一检测位置对应，在该检测位置处，针对所述狭缝位置信号生成用于对所述2个以上的实际位置的各实际位置处的误差之间的大小进行校正的校正值。
百度查询： 旭化成微电子株式会社 校准装置、校准方法以及校准程序
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