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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
申请日：2022-07-05
公开（公告）日：2023-01-13
公开（公告）号：CN115602596A
专利技术分类：...使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法。衬底对位装置包含以俯视下相互对向的方式且分开的方式配置，分别从衬底的下方位置支撑衬底的外周端部的第1支撑部件及第2支撑部件。另外，衬底对位装置具备：第1按压部件，以俯视下与第1支撑部件对向的方式配置，在衬底由第1及第2支撑部件支撑的状态下，在从第2支撑部件朝向第1支撑部件的第1方向按压所述衬底的外周端部的一部分，由此使衬底移动。第1支撑部件包含限制衬底超过预先确定的规定位置向第1方向移动的移动限制部。
专利权项：1.一种衬底对位装置，其是进行衬底的对位的衬底对位装置，且具备：第1及第2支撑部件，以俯视下相互对向的方式且分开的方式配置，分别从所述衬底的下方位置支撑所述衬底的外周端部；第1按压部件，以俯视下与所述第1支撑部件对向的方式配置，在所述衬底由所述第1及第2支撑部件支撑的状态下，在从所述第2支撑部件朝向所述第1支撑部件的第1方向按压所述衬底的外周端部的一部分，由此使所述衬底在所述第1及第2支撑部件上移动；及第1按压驱动部，驱动所述第1按压部件；且所述第1支撑部件包含限制所述衬底超过预先确定的规定位置向所述第1方向移动的移动限制部。
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法
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