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拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法专利

发布时间:2023-03-16 12:11:44 来源:龙图腾网 导航: 龙图腾网> 最新专利技术> 拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法

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申请/专利权人:隆基绿能科技股份有限公司

申请日:2021-09-09

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN115787064A

专利技术分类:

专利摘要:本申请公开了一种拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法,其中,拉晶夹具应用于二次转肩拉晶工艺,包括上下间隔设置的第一安装件和第二安装件,第一安装件和第二安装件上同轴设置有通孔,通孔内穿设有用于向上拉晶的拉晶绳,且所述拉晶绳上设置有能与第二安装件向上定位配合的定位部;围绕通孔的轴线设置有至少三个卡爪,各卡爪在水平方向上具有夹持状态和释放状态;第一连杆机构和第二连杆机构,至少用于在定位部与第二安装件向上定位配合,且第二安装件随所述拉晶绳向上运动预定距离后,控制各卡爪由释放状态同步切换为夹持状态。上述方案用于在拉晶过程中对晶棒进行夹持,防止晶棒掉落,砸坏石英坩埚,造成较大的经济损失及引起安全事故的问题。

专利权项:1.一种拉晶夹具,应用于二次转肩拉晶工艺,其特征在于,包括:上下间隔设置的第一安装件和第二安装件,所述第一安装件和所述第二安装件上同轴设置有通孔,所述通孔内穿设有用于向上拉晶的拉晶绳,且所述拉晶绳上设置有能与所述第二安装件向上定位配合的定位部;围绕所述通孔的轴线设置有至少三个卡爪,各所述卡爪在水平方向上具有夹持状态和释放状态;所述第二安装件与各所述卡爪之间连接有第一连杆机构,所述第一安装件与各所述第一连杆机构之间连接有第二连杆机构;所述第一连杆机构和所述第二连杆机构,至少用于在所述定位部与所述第二安装件向上定位配合,且所述第二安装件随所述拉晶绳向上运动预定距离后,控制各所述卡爪由所述释放状态同步切换为所述夹持状态。

百度查询: 隆基绿能科技股份有限公司 拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法

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