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申请/专利权人：沧州信联化工有限公司
摘要：本发明公开了一种TMAH系各向异性硅蚀刻液及其制备方法，涉及蚀刻液技术领域，由以下成分制成：四甲基氢氧化铵、碱金属氢氧化物、多元醇、羟基喹啉、儿茶酚、四氟硼酸钠、表面活性剂、活性添加助剂、氟化氢铵、纯水；本发明制备TMAH系各向异性硅蚀刻液，相较于常规蚀刻液，不仅具有较高的蚀刻速率，同时，大幅度的改善了对硅片的蚀刻质量，提高了加工效率，缩短了加工周期。
主权项：1.一种TMAH系各向异性硅蚀刻液，其特征在于：按重量份计由以下成分制成：四甲基氢氧化铵6-10份、碱金属氢氧化物12-15份、多元醇18-25份、羟基喹啉2-3份、儿茶酚2-3份、四氟硼酸钠3-5份、表面活性剂1-4份、活性添加助剂2-3份、氟化氢铵1.5-1.8份、纯水62-65份。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沧州信联化工有限公司 一种TMAH系各向异性硅蚀刻液及其制备方法
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