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申请/专利权人:微-埃普西龙测量技术有限两合公司
摘要:一种致动器‑传感器系统,用于使得电磁辐射在至少一个轴9上受调控地偏转或转向,具有用于机械地移调偏转元件10的致动器5,以及具有用于检测所述偏转元件10的位置的测量元件2,其特征在于,所述测量元件2由平坦的基板3组成,该基板包括至少一个传感器元件4。此外,本发明涉及一种快速转向镜FSM。
主权项:1.一种致动器-传感器系统,用于使得电磁辐射在至少一个轴9上受调控地偏转或转向,具有用于机械地移调偏转元件10的致动器5,以及具有用于检测所述偏转元件10的位置的测量元件2,其特征在于,所述测量元件2由平坦的基板3组成,该基板包括至少一个传感器元件4。
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权利要求:
百度查询: 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 致动器-传感器系统和具有这种致动器-传感器系统的快速转向镜(FSM)
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