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申请/专利权人：贵阳学院
申请日：2023-08-16
公开（公告）日：2023-10-31
公开（公告）号：CN116970922A
专利技术分类：...仅沉积金刚石[2006.01]
专利摘要：本发明提供了一种MPCVD装置及其应用，涉及微波等离子体的技术领域，包括同轴线、放大同轴线、第一渐变阻抗匹配器、第二渐变阻抗匹配器、等离子体反应室、基台，以及悬放于内部的同轴内导体；放大同轴线使同轴线中的TEM模式转换到放大同轴线中形成稳定的TEM模式；第一渐变阻抗匹配器使放大同轴线中的TEM模式转换到第一渐变阻抗匹配器腔体内形成TM01模式；等离子体反应室的腔体能放大并保持TM01模式和产生TM02模式，形成混合模式使等离子体产生区域变大。本发明解决了微波等离子体区域小、能量利用率低，以及金刚石制备尺寸小的问题，达到了操作简单、适用性广，以及产生更均匀和更大面积金刚石薄膜的效果。
专利权项：1.一种MPCVD装置，其特征在于，包括由顺次连接的同轴线（1）、放大同轴线（2）、第一渐变阻抗匹配器（3）、第二渐变阻抗匹配器（6）以及等离子体反应室（7）构成的装置外部，以及穿过同轴线（1）、放大同轴线（2）和第一渐变阻抗匹配器（3）的同轴内导体（4）；其中，所述同轴内导体（4）悬放于装置内部；所述放大同轴线（2）采用阶梯结构，用以使同轴线（1）中的TEM模式转换到放大同轴线（2）中形成稳定放大的TEM模式；所述第一渐变阻抗匹配器（3）采用渐变结构，用以将放大同轴线（2）中的TEM模式转换到第一渐变阻抗匹配器（3）腔体内形成TM01模式；所述第一渐变阻抗匹配器（3）和所述第二渐变阻抗匹配器（6）之间设置有石英板（5），用以防止污染气体进入等离子体反应室（7）；所述等离子体反应室（7）的腔体为石英板（5）下的渐变型结构，用以放大并保持TM01模式和产生TM02模式，最后形成混合模式使等离子体产生区域变大。
百度查询： 贵阳学院 MPCVD装置及其应用
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